Defect Management System Solution
반도체/디스플레이 검사공정에서 설비로부터 생성되는 각종 데이터를 수집하여
분석, 관리하여 주는 솔루션입니다.
Key Technology
데이터 통합
빅데이터 분석
비즈니스 도메인
딥러닝 연산
데이터 분산/병렬처리
데이터 미러링
- DMS (Defect Management System)
- 검사 및 리뷰설비로부터 생성되는 각종 데이터의 분석, 관리 시스템
- RMS (Recipe Management System)
- 측정 및 검사설비의 레시피 관리시스템
- MiDEWS (Mirero Defect Early Warning System)
- 검사설비로부터 생성되는 각종 데이터를 사용하여, 공정 이상발생 경보 시스템
- ADR (Auto Defect Review System)
- 기존 CD / DR-SEM 운용 효율화 시스템
- Recipe ? 장비의 작업 Process Setting 값
- CD ? Critical Dimension
- DR ? Defect Review
- SEM ? Scanning Electron Microscope