Simulation Solution
반도체 광학검사설비를 시뮬레이션하여
불량의 최적 검출 조건 및 설비 최적화를 제공하는 솔루션입니다.
Key Technology
3D 랜더링
HPC
FDTD
RCWA
데이터 분산/병렬처리
- OPTICA(검사 설비 시뮬레이션 시스템)
- 검사설비의 레시피 조건 튜닝 및 설비 개발 최적화를 위한 시뮬레이션 시스템
- Recipe ? 장비의 작업 Process Setting 값
- FDTD ? Finite-difference time-domain
- RCWA ? Rigorous Coupled-Wave Analysis
- HPC ? High Performance Computing